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采用独特的几何形状与加工路径设计,实现对晶圆内部区域的高效研磨,可实现超薄晶圆量产稳定加工。
通过特殊的轮廓设计和优异的磨削性能配合,TK减薄设备在高效减薄晶圆中央区域磨削,利用保留的外缘支撑环来保证超薄晶圆的整体强度,极大降低破片率与变形风险。加工晶圆厚度、环宽稳定一致,磨削寿命高。
减薄后晶圆外观
适用于市面上主流的TK减薄机。
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