产品种类:
- 碳化硅粗磨/精磨砂轮
- 硅粗磨/精磨砂轮
- 锗片/砷化镓/磷化铟减薄砂轮
- 铌酸锂/钽酸锂减薄砂轮
产品介绍:
专为半导体晶圆超精密减薄而设计的金刚石砂轮,融合了的材料科学与制造工艺,可实现晶圆的高效率、超精密、低损伤减薄。
产品特性:
通过提供丰富的金属、树脂、陶瓷结合剂体系,以及不同金刚石粒度与浓度的选择,以适配从粗磨到精磨的各种需求。通过良好的自锐性,容屑能力和散热性能达到优异的磨耗,极低的总厚度偏差(TTV) 和良好的表面粗糙度(Ra)。

砂轮电镜照片

减薄后晶圆粗糙度检测照片

减薄后晶圆魔镜照片
产品规格:

适配对象:
可适配Disco、东京精密、冈本、特思迪、晶盛、中电科等不同型号设备。
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